Повышение качества разделения полупроводниковых пластин и подложек материалов электронной техники на кристаллы путем адаптивного управления прецизионными приводами оборудования : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.02.02 Машиностроение, системы приводов и детали машин / Ковенский Алексей Евгеньевич ; Государственное научное учреждение "Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси"
Нет никаких комментариев для этого документа.