Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Сергей Игоревич Мадвейко ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"

Автор(ы): Мадвейко, Сергей Игоревич, электроника, род. 1984Ответственные организации: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, МинскЯзык документа: Русский ; of summary,Английский ; of summary,Русский ; of summary,Белорусский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2013Физическая характеристика: 25 с.ББК: 55.20.15 ; 55.20.99 ; 47.29.33 ; 47.45 ; 47.14.05 ; 47.14.13 ; 05.27.06Note(s): Резюме на белорусском, русском и английском языках; Список публикаций соискателя: с. 17—22 (40 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: АВТОРЕФЕРАТЫ | ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ | ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ | ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ | ПЛАЗМАТРОНЫ | СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ | СВЧ ПЛАЗМА | КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ | ТЕХНИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций Авторефераты диссертаций
Могилевская областная библиотека. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Резюме на белорусском, русском и английском языках

Список публикаций соискателя: с. 17—22 (40 назв.)

60 экз.

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: