Формирование из газовой фазы функциональных слоев интегральных микросхем / А. С. Турцевич, В. А. Емельянов
Автор(ы): Турцевич, А С;
Емельянов, В. А.Язык документа: Русский.Страна публикации: Россия.Издательство: Минск : Интегралполиграф, 2007Физическая характеристика: 224 с.ISBN:978-985-6845-03-4.ББК: 32.844.1 ; 47.33.31Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.