Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники : автореф. дис. на соиск. уч. степ. канд. технических наук : 05.27.06 / Карпович С.Е. науч.рук ; В. П. Огер ; БГУИР
Автор(ы): Огер, В П; Карпович, С Е научЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2007Физическая характеристика: 22 с.ББК: 05.27.06 ; 3 ; 47.03.05Note(s): Библиография: с. 17-19 (21 назв.).Предметная категория: Белорусский национальный документ
Нет никаких комментариев для этого документа.