Методы и средства формирования программируемых движений в оборудовании производства изделий микроэлектроники : автореф. дис. на соиск. уч. степ. канд. технических наук : 05.27.06 / Карпович С.Е. науч.рук ; И.В. Дайняк ; Белорусский гос. ун-т информатики и радиоэлектроники (Минск)
Автор(ы): Дайняк, И В; Карпович, С Е научЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2006Физическая характеристика: 24 с.ББК: 05.27.06 ; 32 ; 47.33.37Note(s): Библиогр.: 17-20 (36 назв.).Предметная категория: Белорусский национальный документ
Нет никаких комментариев для этого документа.