000 02065cam0 2200373 ib4500
001 BY-MA0000-br85111469
005 20211221145712.0
010 ^a5-06-000307-8
^bКн. 5
100 ^a20170925g19891990u y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aRU
105 ^aa 000yy
109 ^aga
200 1 ^aТермические процессы
^fС. Н. Никифорова-Денисова, Е. Н. Любушкин
210 ^d1989
215 ^a95 с.
320 ^aБиблиогр.: с. 141 (5 назв.)
345 1 ^930000 экз.
461 0 ^12001
^aТехнология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники
^eв 10 кн. : учебник для проф.-техн. училищ
^vКн. 5
^1210
^aМосква
^cВысшая школа
^d1989—1990.
^1215
^d20 см.
606 ^3BY-NLB-ar24592
^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
^2DVNLB
606 ^3BY-NLB-ar11906
^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
^2DVNLB
606 ^3BY-NLB-ar18382
^aМИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ
^2DVNLB
606 ^3BY-NLB-ar33870
^aТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
^2DVNLB
606 ^3BY-NLB-ar2852972
^aФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
^2DVNLB
686 ^a32.852-06я722 + 32.844.1-06я722
^2rubbk
690 ^a1
^2Base
^9BY-MA0000
^xRSEK
701 1 ^aНикифорова-Денисова
^bС. Н.
^gСветлана Николаевна
^3BY-RLST-ar369522
701 1 ^aЛюбушкин
^bЕ. Н.
^gЕвгений Николаевич
^3BY-RLST-ar369524
801 0 ^aBY
^bBY-MA0000
^c20180316
^gpsbo
899 ^aBY-MA0000
^h32.852-06я722
^iТ 38