| 000 | 01716cam0 2200361 ib4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-MA0000-br85051307 | ||
| 005 | 20211221144542.0 | ||
| 010 | ^a5-256-00062-4 | ||
| 100 | ^a20150915d1988 u y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aRU | ||
| 105 | ^ay ||||000yy | ||
| 109 | ^aga | ||
| 200 | 1 |
^aОборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы ^eучеб. для сред. спец. учеб. заведений ^fЮ. В. Панфилов, В. Т. Рябов, Ю. Б. Цветков |
|
| 210 |
^aМосква ^cРадио и связь ^d1988 |
||
| 215 | ^a320 с. | ||
| 320 | ^aБиблиогр.: с. 318 | ||
| 606 |
^3BY-NLB-ar11906 ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar25861 ^aПРОИЗВОДСТВО ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar21195 ^aОБОРУДОВАНИЕ ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar26042 ^aПРОМЫШЛЕННЫЕ РОБОТЫ ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar75903 ^aГИБКИЕ ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ СИСТЕМЫ ^2DVNLB |
||
| 608 |
^3BY-NLB-ar35521 ^aУЧЕБНИК ^2BYGNR |
||
| 686 |
^a32.844.15 + 32.816.2 ^2rubbk |
||
| 690 |
^a1 ^2Base ^9BY-MA0000 ^xRSEK |
||
| 700 | 1 |
^3BY-SEK-120963 ^aПанфилов ^bЮ. В. ^gЮрий Васильевич ^cдоктор технических наук |
|
| 701 | 1 |
^3BY-RLST-ar370584 ^aРябов ^bВ. Т. ^gВладимир Тимофеевич |
|
| 701 | 1 |
^3BY-RLST-ar370585 ^aЦветков ^bЮ. Б. ^gЮрий Борисович |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-MA0000 ^c20180316 ^gpsbo |
|
| 899 |
^aBY-MA0000 ^h32.844.15 ^iП 16 |
||