| 000 | 02709cam0 2200397 ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-MA0000-br85036835 | ||
| 005 | 20211221144235.0 | ||
| 100 | ^a20141220d2014 k rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 105 | ^aa m|||000yy | ||
| 109 |
^aaa ^aac |
||
| 200 | 1 |
^aСистемы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла ^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук ^eспециальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники ^fАлександр Степанович Агейченко ^gУчреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
| 210 |
^aМинск ^d2014 |
||
| 215 |
^a24 с. ^cил., табл. |
||
| 300 | ^aРезюме на белорусском, русском и английском языках | ||
| 320 | ^aСписок публикаций соискателя: с. 17—21 (33 назв.) | ||
| 345 | ^960 экз. | ||
| 606 |
^3BY-NLB-ar2121092 ^aСВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar24610 ^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КРИСТАЛЛЫ ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar14264 ^aКОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar2113377 ^aМАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar85256 ^aФОТОЛИТОГРАФИЯ ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar4286404 ^aПРОЕЦИРОВАНИЕ ^2DVNLB |
||
| 606 |
^3BY-NLB-ar2406406 ^aАВТОРЕФЕРАТЫ ^2DVNLB |
||
| 610 | 0 | ^aСтепперы | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 686 |
^a05.27.06 ^2nsnrrb |
||
| 690 |
^a1 ^2Base ^9BY-MA0000 ^xRSEK |
||
| 700 | 1 |
^3BY-RLST-ar539802 ^aАгейченко ^bA. С. ^gАлександр Степанович ^cэлектроника |
|
| 712 | 0 | 2 |
^3BY-NLB-ar186905 ^aБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ^cМинск |
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-MA0000 ^c20180316 ^gpsbo |
|
| 899 |
^aBY-MA0000 ^h05.27.06 ^iА 23 |
||