000 01350cam0 2200337 ib4500
001 BY-MA0000-br85014976
005 20211221143759.0
010 ^a5-06-000300-0
100 ^a20140916d1989 s y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aRU
105 ^ay j|||000yy
106 ^9kn
109 ^aga
200 1 ^aУстройство и наладка оборудования полупроводникового производства
^eучебник для профессионально-технических училищ
^fО. С. Моряков
205 ^a4-е изд., перераб. и доп.
210 ^aМосква
^cВысшая школа
^d1989
215 ^a235, [4] с.
^cил.
^d21 см
320 ^aБиблиография: с. 237.
345 ^915000 экз.
606 ^aПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ
^3BY-NLB-ar24593
^2DVNLB
606 ^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
^2DVNLB
^3BY-NLB-ar24592
610 0 ^aНаладка оборудования
686 ^a32.852-06я723
^2rubbk
690 ^a1
^2Base
^9BY-MA0000
^xRSEK
700 1 ^aМоряков
^bО. С.
^gОлег Сергеевич
^3BY-SEK-1150708
801 0 ^aBY
^bBY-MA0000
^c20180316
^gpsbo
899 ^aBY-MA0000
^iМ 80