| 000 | 01639cam0 22004211ib4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-MA0000-br1396157 | ||
| 005 | 20211221141014.0 | ||
| 010 | ^a978-985-6845-03-4. | ||
| 100 | ^a20100203d2007 y0rusy50 ca | ||
| 101 | ^arus | ||
| 102 | ^aru | ||
| 105 | ^aa z 000yy | ||
| 109 | ^aaa | ||
| 200 | 1 |
^aФормирование из газовой фазы функциональных слоев интегральных микросхем ^fА. С. Турцевич, В. А. Емельянов |
|
| 210 |
^aМинск ^cИнтегралполиграф ^d2007 |
||
| 215 | ^a224 с. | ||
| 345 | ^9500 экз. | ||
| 610 | 0 | ^aИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aФУНКЦИОНАЛЬНОЕ СОСТОЯНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ | |
| 610 | 0 | ^aГАЗОВАЯ ФАЗА | |
| 610 | 0 | ^aМИКРОСХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aІНТЭГРАЛЬНЫЯ МІКРАСХЕМЫ | |
| 610 | 0 | ^aФУНКЦЫЯНАЛЬНЫ СТАН | |
| 610 | 0 | ^aФУНКЦЫЯНАЛЬНЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ | |
| 610 | 0 | ^aГАЗАВАЯ ФАЗА | |
| 610 | 0 | ^aМІКРАСХЕМЫ | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 686 |
^a32.844.1 ^v2 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a47.33.31 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 690 |
^a1 ^2Base ^9BY-MA0000 ^xRSEK |
||
| 700 | 1 |
^aТурцевич ^bА. . ^gА С |
|
| 701 | 1 |
^aЕмельянов ^bВ. А. |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-MA0000 ^c20100203 ^gpsbo |
|
| 801 | 2 |
^aBY ^bBY-MA0000 ^c20180802 ^gpsbo |
|
| 899 |
^aBY-MA0000 ^h32.844.1 ^iТ 88 |
||