000 02388cam0 2200433 ia4500
001 BY-MA0000-br84863399
005 20211221135933.0
100 ^a20110722d2010 k y0rusy50 ca
101 0 ^arus
^deng
^dbel
^drus
102 ^aBY
105 ^aa m 000yy
109 ^aac
^aaa
200 1 ^aФормирование и свойства водородсодержащих доноров в субмикронных слоях кремния
^eавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
^e01.04.10
^fВиктор Геннадьевич Цвырко
^gБелорусский государственный университет
210 ^aМинск
^d2010
215 ^a20 с.
^cил.
300 ^aРезюме на английском, белорусском, русском языках
320 ^aСписок публикаций соискателя: с. 16—17 (15 названий).
606 ^aАВТОРЕФЕРАТЫ
^3BY-NLB-ar2406406
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar24588
^aПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar15092
^aКРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar3334434
^aСУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2685025
^aЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar2351267
^aДОНОРНЫЕ ПРИМЕСИ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar12158
^aИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar59672
^aВОДОРОДНЫЕ ИОНЫ
^2DVNLB
606 0 ^3BY-NLB-ar26909
^aРАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
^2DVNLB
686 ^a01.04.10
^2nsnrrb
686 ^a47.09.29
^2rugasnti
^96
686 ^a47.13.33
^2rugasnti
^96
686 ^a29.19.31
^2rugasnti
^96
686 ^a29.19.17
^2rugasnti
^96
690 ^a1
^9BY-MA0000
^2Base
^xRSEK
700 1 ^3BY-SEK-ar1727011
^aЦвырко
^bВ. Г.
^gВиктор Геннадьевич
^cкандидат физико-математических наук
711 0 2 ^aБелорусский государственный университет
^cМинск
^3BY-NLB-ar167094
801 0 ^aBY
^bBY-MA0000
^c20180316
^gpsbo
899 ^aBY-MA0000