000 01704cam0 22003731ia4500
001 BY-MA0000-br1274297
005 20211221135634.0
100 ^a20100203d2006 y0rusy50 ca
101 ^arus
102 ^aBY
109 ^aac
^aaa
200 1 ^aМетоды и средства формирования программируемых движений в оборудовании производства изделий микроэлектроники
^eавтореф. дис. на соиск. уч. степ. канд. технических наук
^e05.27.06
^fКарпович С.Е. науч.рук
^gИ.В. Дайняк
^gБелорусский гос. ун-т информатики и радиоэлектроники (Минск)
210 ^aМинск
^d2006
215 ^a24 с.
320 ^aБиблиогр.: 17-20 (36 назв.).
610 0 ^aЭЛЕКТРОНИКА
610 0 ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА
610 0 ^aМИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
610 0 ^aЭЛЕКТРОНІКА
610 0 ^aМІКРАЭЛЕКТРОНІКА
610 0 ^aМІКРАЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА
615 ^3BY-SEK-ar1826174
^aБелорусский национальный документ
675 ^a05.27.06
^v4
^zrus
686 ^a05.27.06
^2nsnrrb
686 ^a32
^v2
^2rubbk
686 ^a47.33.37
^v4
^2rugasnti
690 ^a1
^2Base
^9BY-MA0000
^xRSEK
700 1 ^aДайняк
^bИ. .
^gИ В
701 1 ^aКарпович
^bС. Е.
^gС Е науч
801 0 ^aBY
^bBY-MA0000
^c20100203
^gpsbo
801 2 ^aBY
^bBY-MA0000
^c20180802
^gpsbo
899 ^aBY-MA0000
^h32
^iД 14